高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

AU-M3-RS微型振鏡將微型壓電馬達、精密導向系統(tǒng)、位移傳感器、微處理器集成到緊湊的空間中，該模塊擁有超小的體積（直徑<12mm），在緊湊的空間中包含一個世界上zui小的壓電馬達和IC驅(qū)動，但卻可以提供更高的功率和可靠性，精度比電磁電機高十倍。內(nèi)置微處理器及PID控制器，無需外加控制器，只需要通過標準的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅(qū)動旋轉(zhuǎn)臺。內(nèi)置位移傳感器，使微型振鏡的角分辨率達到0.025°。采用*的自鎖設(shè)計，只有在移動時才使用動力，使其擁有極低的功耗。

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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

不需要外部控制器。該模塊將PID控制器集成到電路板上，只需要通過標準的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅(qū)動該控制器?？梢酝ㄟ^USB適配器連接電腦，直接通過軟件控制聚焦模塊的運動。操作簡單使用方便。

AU-M3-RS擁有以下幾種開發(fā)套件：

①光束控制和鏡面定位系統(tǒng)，該系統(tǒng)是一個完整的光束控制系統(tǒng)。在緊湊的體積（直徑12mm）中包含壓電馬達、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器。在微型振鏡上安裝了一個鍍鋁膜的鏡子，每秒可旋轉(zhuǎn)1100°，精度可達到0.025°。點對點光束控制和動態(tài)掃描頻率可達100Hz。鏡子的偏轉(zhuǎn)角度可達到±20°采用*的自鎖設(shè)計，只有在移動時才使用動力，使其擁有極低的功耗。輸入電壓只需要3.3V。

高精度微型振鏡/壓電掃描鏡

單軸鏡面定位開發(fā)套件（AU-DK-M3-RS-U-1M-20）

雙軸光束控制系統(tǒng)（AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L）

②旋轉(zhuǎn)定位平臺（AU-M3-RS-U-360）是集壓電馬達、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器于一體的運動系統(tǒng)。但是其擁有超小的體積，只有12（D）´12.5（H）。該系統(tǒng)可以提供連續(xù)的360°運動，并且擁有位置反饋系統(tǒng)，使其分辨率可達到0.025°。該微型振鏡只需要輸入3.3V的直流電壓，運動時耗能僅為500mW，因此可以用電池或者USB作為電源，這非常利于手提和便攜式設(shè)備。

u  主要特點

• 成本低
• 超小尺寸
• 低功耗
• 無外加控制器
• 高分辨率（0.0057°）

u  主要應用

皮膚科激光、熒光顯微鏡和成像儀器、體內(nèi)和體外的微激光手術(shù)、3D打印、激光雷達、三維測量、遙感、防抖動設(shè)備、激光打標、激光雕刻、自由空間光通信、目標指示、目標探測、目標跟蹤等。

u  主要參數(shù)